氣相沉(chen)(chen)積按形(xing)(xing)成的(de)(de)(de)基本原理(li)，分為化(hua)(hua)學氣相沉(chen)(chen)積（CVD）和物理(li)氣相沉(chen)(chen)積（PVD）。氣相沉(chen)(chen)積是(shi)在(zai)工(gong)件(jian)表(biao)(biao)面覆蓋一層(ceng)厚度(du)為0.5～10μm的(de)(de)(de)過渡族元素(su)（Ti、V、Cr、W、Nb等）與C、N、O、B等形(xing)(xing)成的(de)(de)(de)化(hua)(hua)合物，或單一的(de)(de)(de)金屬及非(fei)金屬涂(tu)層(ceng)，使零件(jian)表(biao)(biao)層(ceng)改變(bian)化(hua)(hua)學成分，并在(zai)其(qi)表(biao)(biao)面形(xing)(xing)成功(gong)能性（例如超硬(ying)(ying)耐磨(mo)層(ceng)）或裝飾性的(de)(de)(de)化(hua)(hua)合物涂(tu)層(ceng)的(de)(de)(de)新技(ji)術，現已廣泛應用于各類(lei)零件(jian)的(de)(de)(de)硬(ying)(ying)化(hua)(hua)處理(li)。沉(chen)(chen)積層(ceng)的(de)(de)(de)主要類(lei)別及特性見(jian)表(biao)(biao)3-38。
主要應用的沉積層(ceng)TiC、TiN涂層(ceng)有以下特點：
a. 涂層有很高的(de)硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的(de)摩擦因數和自潤(run)滑(hua)性能，所以抗磨粒磨損性能良好。
b. 涂層(ceng)具有很高的熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學(xue)穩定性好(hao)，基(ji)體(ti)金屬(shu)在(zai)涂層(ceng)中的溶(rong)解(jie)度小，摩擦因數較低，因而(er)具有很高的抗粘著磨損(sun)能力，使(shi)用中發生(sheng)冷焊和咬合的傾向(xiang)也很小，而(er)且TiN比(bi)TiC更好(hao)。
c. 涂層(ceng)有較強的(de)(de)耐(nai)蝕(shi)(shi)性(xing)，TiC涂層(ceng)在硫(liu)酸、鹽(yan)酸、氯化鈉水(shui)溶液中的(de)(de)耐(nai)蝕(shi)(shi)性(xing)良(liang)好，而且TiN的(de)(de)耐(nai)蝕(shi)(shi)性(xing)一般(ban)都比(bi)TiC更好一些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
